高溫爐的安全操作規(guī)程
發(fā)布日期：2017-12-14 瀏覽次數(shù)：
1、檢查電源線接觸是否良好
2、檢查連接線是否正常
3、檢查冷卻水是否正常
4、檢查密封性是否正常
5、準(zhǔn)備所需工具：無塵紙、無水酒精、帆布手套、作業(yè)手套、口罩、耐高溫手套、石墨推車、不銹鋼托盤
二開爐
1、打開主電源開關(guān)
2、向爐體充氬氣至大氣壓，打開爐體前門，取下石墨蓋板
3、將輸送車開關(guān)打至 OUT，依次操作 UP - FORWARD - UP - BACK - DOWN 按鈕，取出 。石墨坩堝，依次放置于石墨推車上輸送車開關(guān).
4、清爐 清理爐膛內(nèi)壁、石墨件及保溫材料上的污物
三裝料
1、將石墨坩堝放置于輸送車平臺(tái)上，使用限位桿確定其位置，依次裝入硅料。
2、拔出限位桿，輸送車開關(guān)打至 IN，依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN，將坩堝裝入爐膛內(nèi)，并確定輸送車會(huì)到初始位置。
3、裝入石墨蓋板，擰緊石墨螺栓，關(guān)緊爐門
四 抽氣
1、檢查爐門是否關(guān)緊，真空系統(tǒng)是否密封
2、置 DP 按鈕于 DP ON，打開干式真空泵，打開真空計(jì)開關(guān) P1G1，打開干式真空泵 。閥門，開始抽氣測(cè)試泄漏率，
3、當(dāng)壓力表指示為 50Pa是關(guān)閉真空泵閥門(非真空泵)露鋁≤1Pa/min，打開氬氣閥門充氬氣(20L/min)。
d. 加熱 先打開水環(huán)泵 再按 RUN，開始工藝加熱。
五.冷卻
1、加熱結(jié)束后，按工藝條件進(jìn)行冷卻；
2、爐內(nèi)溫度降低至 200℃以下，壓力達(dá)到一個(gè)大氣壓后才可打開爐門，繼續(xù)冷卻。
3、完全冷卻至室溫后，將輸送車開關(guān)打至 OUT，依次操作 UP - FORWARD - UP - BACK- DOWN 按鈕，取出石墨坩堝，取出硅料，并進(jìn)行分裝。
4、清掃爐體后關(guān)閉爐門，將爐體抽成負(fù)壓。
5、清理并妥善放置其它附屬物件。
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